真空标准漏孔的比较

真空标准漏孔的比较
市售的氦质谱检漏仪所附带的规范漏孔都是渗氦型。自带氦室，
目前。使用非常方便。其优点是对污染不敏感，长时间内漏率测振仪稳定，漏率可做得很小。其缺点是受温度影响大，玻璃元件很脆，不能接受剧烈冲击和振动；长时间关闭漏孔阀后，会发生氦气积累，破坏了膜内原来的浓度梯度，再打开漏孔阀后，要达到稳定漏率要很长时间。因此，保管带阀的渗氦型规范漏孔时，阀门坚持开启状态。如果使用温度与校准温度差别较大，就必需进行漏率修正。
通道型规范漏孔温度系数振动分析仪小，但对污染敏感、易被水蒸气、油蒸气和颗粒物堵塞。所以使用和存放时要坚持干燥和清洁，最好是真空箱内存放。校准周期要比渗氦型短得多。

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